仪器测试功能：
SE-VM 是一款超高精度快速测量光谱椭偏仪，其采用自主研发的椭偏创新技术，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
仪器主要技术参数：
1、光谱范围： 380-1000nm 210-1650nm 193-1650nm 210-2500nm
2、光斑尺寸： 200*500um 100*250um 40*80um
3、入射角： 45°-90°,手动变角
4、测量速度： ≦15s(单点)
5、样品尺寸： 4-8英寸
6、膜厚测量准确度： 0.5nm@100nm标片
7、测量重复性： ≦0.005nm
仪器主要应用领域：
1、半导体晶圆纳米薄膜光学参数检测
2、光学镀膜、显示面板膜层表征
3、各向异性新材料偏振特性分析
