仪器测试功能：
用于研究材料的电学特性随温度、光照等外部条件的变化规律，为新材料和新器件的商业化应用提供技术支持。
仪器主要技术参数：
1、4个SMU模块输出能力：20mA@±100V,20mA@±50V,50mA@±30V,100mA@±10V
2、4个SMU模块最小测量分辨率：电流 10fA，电压 0.5uV
3、电容测试模块测试频率范围：1kHz至5MHz，电容测试精度（1pF,1MHz）≤±0.26%
仪器主要应用领域：
1、半导体器件IV、CV电学参数测试
2、光电传感器光响应特性精准表征
3、微电子芯片漏电流与阈值电压检测
